Каталог
Наши сообщества

Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Лот №: 1919
Наличие: Есть в наличии
Цена: 480.00 р.
Цена в бонусных баллах: 1
Количество:  
   - или -   
На основе современных представлений классифицированы физико-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое внимание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспределению атомов (ионов) примесей между внешней средой и подложкой. Изложены физико-химические основы процессов эпитаксии и получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы действия электрических полей и излучений на технологические процессы. Сформулированы критерии, определяющие физико-химический характер протекания различных процессов и качество получаемых изделий.
Книга
Автор Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.
Издание
Город издания Москва
Издательство Металлургия
Год 1979
Количество страниц 408 с.
Переплет Твердый
Формат Увеличенный
Состояние Хорошее. Штампы.
Нет отзывов об этом товаре.

Написать отзыв

Ваше Имя:


Ваш отзыв: Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст.

Оценка: Плохо           Хорошо

Введите код, указанный на картинке: