Металлоорганические соединения в электронике

В монографии обобщен и систематизирован большой материал в области применения металлоорганических соединений в электронике. Изложены аспекты практического применения металлоорганических соединений в лазерах, для получения проводящих, резистивных, диэлектрических тонких пленок, полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур, а также для получения чистых материалов, защитных покрытий и т.д. Приводится теоретическое обоснование технологического применения металлоорганических соединений в производстве ряда изделий электроники. Монография содержит фактический материал по физико-химическим свойствам металлоорганических соединений. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области химии металлоорганических соединений и производства материалов для электроники, работников промышленности, студентов, аспирантов и преподавателей вузов. Содержание: 1. Металлоорганические соединения - новые материалы для электроники; 2. Применение МОС в виде индивидуальных соединений; 3. Применение продуктов термо- и фотораспада индивидуальных соединений; 4. Применение продуктов реакций МОС с другими соединениями; 5. Процесс осаждения из паровой фазы при распаде МОС. Факторы влияющие на процесс; 6. Способы разложения МОС в паровой фазе; 7. Получение пленок металлов и их карбидов разложением МОС в паровой фазе; 8. Получение окисных и полимерных пленок разложением МОС в паровой фазе; 9. Разложение МОС в растворах; 10. Практическое применение МОС.