Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Код товара: 60781
Доступность: Нет в наличии
Артикул: 11182830
- 450.00 р.
-
Краткие характеристики
Автор
Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.
Год
1984
Город издания
Москва
Издание
-
Издательство
Радио и связь
Количество страниц
336 с., илл.
Переплет
твердый
Состояние
Хорошее
Формат
увеличенный
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблона и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.
Книга
Автор
Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.
Год
1984
Город издания
Москва
Издание
-
Издательство
Радио и связь
Количество страниц
336 с., илл.
Переплет
твердый
Состояние
Хорошее
Формат
увеличенный
1984, Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.