Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

Код товара: 60781
Доступность: Нет в наличии
Артикул: 11182830

  • 450.00 р.


Краткие характеристики
Автор Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.
Год 1984
Город издания Москва
Издание -
Издательство Радио и связь
Количество страниц 336 с., илл.
Переплет твердый
Состояние Хорошее
Формат увеличенный
Все характеристики


Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблона и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.

Книга

Автор Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.
Год 1984
Город издания Москва
Издание -
Издательство Радио и связь
Количество страниц 336 с., илл.
Переплет твердый
Состояние Хорошее
Формат увеличенный
Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
Captcha

1984, Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.