Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Код товара: 60781
Доступность: Нет в наличии
Артикул: 11182830
- 450.00 р.
-
Краткие характеристики
Автор
Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.
Год
1984
Город издания
Москва
Издание
-
Издательство
Радио и связь
Количество страниц
336 с., илл.
Переплет
твердый
Состояние
Хорошее
Формат
увеличенный
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблона и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.
Книга
Автор
Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.
Год
1984
Город издания
Москва
Издание
-
Издательство
Радио и связь
Количество страниц
336 с., илл.
Переплет
твердый
Состояние
Хорошее
Формат
увеличенный
Похожие товары
Патентоведение.
Изложены общие вопросы изобретательства, рационализации и патентного дела. Даются основные понятия и..
Автор: Артемьев Е. И., Богуславский М. М. и др.
Год: 1976
220.00 р.
Битумоминеральные плиты для городских дорог.
Рассмотрены новые конструкции битумоминеральных плит, используемых для индустриального дорожного стр..
Автор: Ростовцев А.С.
Год: 1976
170.00 р.
Применение статистических методов в технике регулирования.
Рассматриваются статистические методы определения параметров и формирования моделей, реализуемые на ..
Автор: Пешель М.
Год: 1977
220.00 р.
1984, Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р. и др.