Ионное легирование полупроводников (кремний и германий)

Код товара: 57768
Доступность: На складе
Артикул: s111-79705

  • 500.00 р.


Краткие характеристики
Автор Мейер Дж., Эриксон Л., Дэвис Дж.
Год 1973
Город издания Москва
Издание -
Издательство Мир
Количество страниц 296 с.
Переплет твердый
Состояние Хорошее
Формат увеличенный
Все характеристики


Книга посвящена возникшему в последние годы методу введения в полупроводники примесных элементов в виде ускоренных ионов. Метод позволяет регулировать плотность примесных атомов и глубину их проникновения в основной материал, а поэтому чрезвычайно перспективен для изготовления микроэлектронных приборов. В книге рассмотрены все стороны вопроса о внедрении ускоренных ионов в одноатомные полупроводники. Книга рассчитана на специалистов в области полупроводниковой технологии, радиационной физики полупроводников и полупроводниковых приборов, физики твердого тела, а также на аспирантов и студентов соответствующих специальностей.

Книга

Автор Мейер Дж., Эриксон Л., Дэвис Дж.
Год 1973
Город издания Москва
Издание -
Издательство Мир
Количество страниц 296 с.
Переплет твердый
Состояние Хорошее
Формат увеличенный
Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
Captcha

1973, Мейер Дж., Эриксон Л., Дэвис Дж.