Эпитаксиальные пленки

Книга посвящена ориентированной кристаллизации(эпитаксии) на анизотропных поверхностях. Главное внимание уделено монокристальным пленкам, получаемым при химическом росте и конденсации веществ из паровой фазы в вакууме. Рассмотрены теории конденсации и ориентированной кристаллизации, структура тонких пленок и ориентационные соотношения, механизмы роста конденсатов, а также практические приложения монокристальных пленок. Особое внимание обращено на тонкие пленки полупроводников, в частности рассмотрена роль автоэпитаксии полупроводниковых элементов и соединений в микроминиатюризации электронных устройств. Описаны такие важные приложения эпитаксии, как высокоразрешающая микроскопия с помощью муаровых картин, избирательное декорирование кристаллических дефектов и др. Тираж 4300