Технология производства микроэлектронных устройств
Код товара: 45092
Доступность: Нет в наличии
Артикул: 11166447
- 630.00 р.
-
Краткие характеристики
Автор
Малышева И.А.
Год
1980
Город издания
Москва
Издание
-
Издательство
Энергия
Количество страниц
448 с.
Переплет
твердый
Состояние
Хорошее. Штампы
Формат
увеличенный
В книге дана общая характеристика производства микроэлектронных устройств, сформулированы общие требования к производству. Описаны основные технологические методы и процессы, такие как механическая обработка, очистка поверхности подложек, фотолитография, метод свободной маски, рентгеновская и электронная литография, методы получения пленок, эпитаксия, диффузия, ионное легирование. Разобраны типовые технологические процессы изготовления биполярных и МДП-микросхем, тонкопленочных и толстопленочных микросхем. Рассмотрены процессы сборки, герметизации, вопросы обеспечения качества и эффективности, а также тенденции дальнейшего развития микроэлектроники.
Книга
Автор
Малышева И.А.
Год
1980
Город издания
Москва
Издание
-
Издательство
Энергия
Количество страниц
448 с.
Переплет
твердый
Состояние
Хорошее. Штампы
Формат
увеличенный