Технология производства микроэлектронных устройств

Код товара: 45092
Доступность: На складе
Артикул: 11166447

  • 630.00 р.


Краткие характеристики
Автор Малышева И.А.
Год 1980
Город издания Москва
Издание -
Издательство Энергия
Количество страниц 448 с.
Переплет твердый
Состояние Хорошее. Штампы
Формат увеличенный
Все характеристики


В книге дана общая характеристика производства микроэлектронных устройств, сформулированы общие требования к производству. Описаны основные технологические методы и процессы, такие как механическая обработка, очистка поверхности подложек, фотолитография, метод свободной маски, рентгеновская и электронная литография, методы получения пленок, эпитаксия, диффузия, ионное легирование. Разобраны типовые технологические процессы изготовления биполярных и МДП-микросхем, тонкопленочных и толстопленочных микросхем. Рассмотрены процессы сборки, герметизации, вопросы обеспечения качества и эффективности, а также тенденции дальнейшего развития микроэлектроники.

Книга

Автор Малышева И.А.
Год 1980
Город издания Москва
Издание -
Издательство Энергия
Количество страниц 448 с.
Переплет твердый
Состояние Хорошее. Штампы
Формат увеличенный
Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
Captcha

1980, Малышева И.А.