Электроника ультрабольших интегральных схем.

Книга американских специалистов посвящена основным проблемам разработки микросхем с очень высокой степенью интеграции — ультрабольших интегральных схем (УБИС). Основное внимание уделяется отличительным особенностям процесса разработки таких схем: характеристикам элементов с учетом эффектов, вызываемых малыми геометрическими размерами, межсоединениям, взаимодействиям между элементами на кристалле, технологическим аспектам. Рассматриваются фундаментальные физические ограничения при масштабной миниатюризации элементов, устанавливающие, предельные значения быстродействия. Для разработчиков микроэлектронной техники, а также преподавателей, аспирантов и студентов ВУЗов соответствующих специальностей.