Физико-химические основы технологии микроэлектроники
Код товара: 1919
Доступность: Нет в наличии
Цена в бонусных баллах: 1
Артикул: 11123701
- 480.00 р.
-
Краткие характеристики
Автор
Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.
Год
1979
Город издания
Москва
Издание
-
Издательство
Металлургия
Количество страниц
408 с.
Переплет
Твердый
Состояние
Хорошее. Штампы.
Формат
Увеличенный
На основе современных представлений классифицированы физико-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое внимание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспределению атомов (ионов) примесей между внешней средой и подложкой. Изложены физико-химические основы процессов эпитаксии и получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы действия электрических полей и излучений на технологические процессы. Сформулированы критерии, определяющие физико-химический характер протекания различных процессов и качество получаемых изделий.
Книга
Автор
Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.
Год
1979
Город издания
Москва
Издание
-
Издательство
Металлургия
Количество страниц
408 с.
Переплет
Твердый
Состояние
Хорошее. Штампы.
Формат
Увеличенный
Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П., 1979, Физико-химические основы технологии микроэлектроники