Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Name: Физико-химические основы технологии микроэлектроники
SKU: 111-23701
Price: 480 RUB
Availability: InStock

Код товара: 1919

Доступность: На складе

Цена в бонусных баллах: 1

Артикул: 111-23701

480.00 р.
Кол-во

Краткие характеристики

Автор Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.

Год 1979

Город издания Москва

Издание -

Издательство Металлургия

Количество страниц 408 с.

Переплет Твердый

Состояние Хорошее. Штампы.

Формат Увеличенный

Все характеристики

0 отзывов0

На основе современных представлений классифицированы физико-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое внимание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспределению атомов (ионов) примесей между внешней средой и подложкой. Изложены физико-химические основы процессов эпитаксии и получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы действия электрических полей и излучений на технологические процессы. Сформулированы критерии, определяющие физико-химический характер протекания различных процессов и качество получаемых изделий.