Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Код товара: 1919
Доступность: На складе
Цена в бонусных баллах: 1
Артикул: 111-23701

  • 480.00 р.


Краткие характеристики
Автор Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.
Год 1979
Город издания Москва
Издание -
Издательство Металлургия
Количество страниц 408 с.
Переплет Твердый
Состояние Хорошее. Штампы.
Формат Увеличенный
Все характеристики


На основе современных представлений классифицированы физико-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое внимание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспределению атомов (ионов) примесей между внешней средой и подложкой. Изложены физико-химические основы процессов эпитаксии и получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы действия электрических полей и излучений на технологические процессы. Сформулированы критерии, определяющие физико-химический характер протекания различных процессов и качество получаемых изделий.

Книга

Автор Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.
Год 1979
Город издания Москва
Издание -
Издательство Металлургия
Количество страниц 408 с.
Переплет Твердый
Состояние Хорошее. Штампы.
Формат Увеличенный
Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
Captcha

Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П., 1979, Физико-химические основы технологии микроэлектроники