Получение тонкопленочных элементов микросхем.
Код товара: 4655
Доступность: Нет в наличии
Цена в бонусных баллах: 1
Артикул: 11125940
- 230.00 р.
-
Краткие характеристики
Автор
Данилин Б.С.
Год
1977
Город издания
Москва
Издание
Сер: Библиотека технолога радиоэлектроннной аппаратуры. Выпуск 10. Схемы, таблицы, рисунки.
Издательство
Энергия
Количество страниц
136 с.
Переплет
Мягкий
Состояние
Хорошее. Штампы.
Формат
обычный
В книге в краткой и доступной для читателя форме рассмотрены наиболее широко распространенные вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировкой. Описывается аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, и рассматриваются способы получения требуемой конфигурации тонкопленочных элементов интегральных микросхем. Книга предназначена для работников радиотехнической и электронной промышленности. занимающихся проектированием и изготовлением радиоэлектронной аппаратуры с использованием тонкопленочной технологии.
Книга
Автор
Данилин Б.С.
Год
1977
Город издания
Москва
Издание
Сер: Библиотека технолога радиоэлектроннной аппаратуры. Выпуск 10. Схемы, таблицы, рисунки.
Издательство
Энергия
Количество страниц
136 с.
Переплет
Мягкий
Состояние
Хорошее. Штампы.
Формат
обычный