Массоперенос в тонких пленках.

В монографии впервые обобщен и систематизирован материал по стимулированному массопереносу в тонкопленочных проводниках полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Вскрывается сущность физических процессов, лежащих в основе этого явления, а также причины, приводящие к отказам тонкопленочных проводников интегральных микросхем в результате массопереноса. Обсуждаются пути увеличения срока службы тонкопленочных проводников и контактных площадок интегральных микросхем, что позволит легко внедрить в производство. Анализируются теоретические и экспериментальные методы изучения массопереноса. Рассматривается использование тонких пленок в микроэлектронике, основные положения и особенности диффузии в тонкопленочных структурах, а также показана перспектива использования стимулированной диффузии для создания изделий микроэлектроники.